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第455章 给光刻机建设一个核电站（第1页）

陈宁皱了皱眉头，作为这个研究小组的负责人，他最近也是在加班加点，可进度并不遂人愿。

“陈总，还不是特别顺利。”

“当初我们学的是用193nm的arf准分子激光的第四代光刻机，所以在光源理论上面比较生疏。”

“而且从德国订购的实验仪器，他们卖给我们的也不是最先进的。”

“还有存储环，我们国内也很不理想……”

陈尘对此表示理解，叹了口气道：“这很正常。”

“要追赶上国际水平很不容易，况且我们这次还是弯道超车。”

“不过仪器和存储环，我们的朋友会在月底给你们。”

陈尘口中的朋友自然是魔都微电的徐丛，这些家伙什没有一定的关系以及实力，一般人还真搞不定。

“阿斯麦尔公司用的是高能激光轰击液态锡靶，形成等离子体后产生波长13.5nm的euv光源，未来随着芯片工艺节点的不断缩小，对euv光源的功率要求也会不断提升，很快就会到达他们的临界点。”

“而我们的ss1mb的euv光源，则是可以实现更大的功率，还有向更短波长扩散的潜力，所以我们技术的前景是可以预见的。”

“你们不用着急，一定要把理论做扎实，等到了落地实验才会走的更稳。”

陈宁点头，“陈总，我知道，我们这边的人每天下班后还会自发加班学习，就为了让咱们未来不用看别人的脸色，所以大家的动力是很足的。”

“但是陈总，根据我们的理论，这个新技术的能耗会非常高，如果用来制作普通芯片的话，成本会比国外高上一大截的。”

“可不用更大的平均功率，能耗降低也无法有更短的波长产生，也就没办法作为光刻机的光源。”

陈宁虽说对这项技术很看好，可这项光源的技术耗能，却是个大问题。

大量的电力被浪费掉，而且同步加速器也是个大家伙，就算投入到光刻机上面使用，估计场地也是庞大无比。

对于这个问题，陈尘也是早有预料。

电力，华夏并不缺，如果真的可行，搞一个半导体产业集群，直接在旁边建设一个核电站不就完了。

场地，也就是土地，这个地方华夏更不缺。

扬子江新能源建设一个20GWh的工厂都被各地抢着要，更妄论这一个半导体产业集群了。

陈尘的最终方案也很简单，没办法做小是吧，那就往大了做，建设一个芯片厂，搞一个大型的光源总站。

多个光源输出点，可以输出极紫外光，也可以输出波长更短的x射线。

一个超级光源系统，配多台光刻机！

“这点不是你操心的事情，只要技术能落地，耗能高点也无所谓，我们华夏不缺电。”

在半导体部门视察了解了一下进度后，陈尘就离开了这里。

在他走后，陈宁的眉头依旧紧锁。

“陈组长，刚刚陈总给你说了什么？”

“没什么就问了一下进度。”