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陈宁皱了皱眉头,作为这个研究小组的负责人,他最近也是在加班加点,可进度并不遂人愿。
“陈总,还不是特别顺利。”
“当初我们学的是用193nm的arf准分子激光的第四代光刻机,所以在光源理论上面比较生疏。”
“而且从德国订购的实验仪器,他们卖给我们的也不是最先进的。”
“还有存储环,我们国内也很不理想……”
陈尘对此表示理解,叹了口气道:“这很正常。”
“要追赶上国际水平很不容易,况且我们这次还是弯道超车。”
“不过仪器和存储环,我们的朋友会在月底给你们。”
陈尘口中的朋友自然是魔都微电的徐丛,这些家伙什没有一定的关系以及实力,一般人还真搞不定。
“阿斯麦尔公司用的是高能激光轰击液态锡靶,形成等离子体后产生波长13.5nm的euv光源,未来随着芯片工艺节点的不断缩小,对euv光源的功率要求也会不断提升,很快就会到达他们的临界点。”
“而我们的ss1mb的euv光源,则是可以实现更大的功率,还有向更短波长扩散的潜力,所以我们技术的前景是可以预见的。”
“你们不用着急,一定要把理论做扎实,等到了落地实验才会走的更稳。”
陈宁点头,“陈总,我知道,我们这边的人每天下班后还会自发加班学习,就为了让咱们未来不用看别人的脸色,所以大家的动力是很足的。”
“但是陈总,根据我们的理论,这个新技术的能耗会非常高,如果用来制作普通芯片的话,成本会比国外高上一大截的。”
“可不用更大的平均功率,能耗降低也无法有更短的波长产生,也就没办法作为光刻机的光源。”
陈宁虽说对这项技术很看好,可这项光源的技术耗能,却是个大问题。
大量的电力被浪费掉,而且同步加速器也是个大家伙,就算投入到光刻机上面使用,估计场地也是庞大无比。
对于这个问题,陈尘也是早有预料。
电力,华夏并不缺,如果真的可行,搞一个半导体产业集群,直接在旁边建设一个核电站不就完了。
场地,也就是土地,这个地方华夏更不缺。
扬子江新能源建设一个20GWh的工厂都被各地抢着要,更妄论这一个半导体产业集群了。
陈尘的最终方案也很简单,没办法做小是吧,那就往大了做,建设一个芯片厂,搞一个大型的光源总站。
多个光源输出点,可以输出极紫外光,也可以输出波长更短的x射线。
一个超级光源系统,配多台光刻机!
“这点不是你操心的事情,只要技术能落地,耗能高点也无所谓,我们华夏不缺电。”
在半导体部门视察了解了一下进度后,陈尘就离开了这里。
在他走后,陈宁的眉头依旧紧锁。
“陈组长,刚刚陈总给你说了什么?”
“没什么就问了一下进度。”
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