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130纳米、90纳米。
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这些工艺制程都能攻克!
当然,光刻机只是其中一步,其他的工艺,都需要中芯国际来研究,这个不是说句话就能完成的。
“那之后的技术路线呢?”
“我们计划使用浸润式光刻机技术,通过在镜片和光源之间通入水,来让光源缩短到134纳米,解决65纳米和45纳米制程的需求。”
林本坚瞬间一喜:“你们也想要用浸润式方案?”
“没错,我们认为,这是最合适的技术路线,现在,我们已经做了大量的预研工作,您请看大屏幕。”
PPT投影上去,林本坚看着那些方案,和自己研究的简直一模一样!
“没想到,没想到,这里能成为我发展的舞台!”
林本坚喃喃地说道,语气中带着激动。
当初选择来东方,是无奈下做出的,是为了活命,现在,来到这里,才突然发现,居然能发挥自己的专长!
自己苦思冥想的那些东西,和这里人的想法不谋而合!
太棒了!
今后,就扎根在这里,做出世界上最先进的光刻机来!
他不是没有提过浸润式的方案,但是,当他说出来的时候,所有人都会认为这是天方夜谭!
而这里,居然在踏踏实实地走这条路线!
之前只是能留住他的人,现在,这番展示,彻底留住了他的心!
他当然不会知道,当那些自称龙组的人到他家之后,搜出来光盘,直接就复刻了一份,原版在他的手提箱里,复制出来的光盘,早就送到了这里,现在大家伙说的,都是他自己的技术!
技术大牛就此留下,东方的来光,取代了AMSL,即将成为全世界光刻机的大佬!
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