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第一百二十章 吹牛皮（第2页）

而在看到他的第一眼，叶四海的瞳孔便是瞬间一震！

他的表情，也是骤然变了！

“为了实现3nm工艺，光刻机需要使用极紫外（EUV）光源，其波长为13。

5nm，比目前使用的193nm光源短了14倍。”

“EUV光源可以提供更高的分辨率和更低的线边粗糙度，但也带来了更多的技术挑战，如光源稳定性、光学元件损耗、掩模缺陷等。

此外，3nm工艺还需要采用多重曝光（MEP）和自对准四极（SAQP）等方法，以实现更细致的图案划分和对齐。

。

。

。”

叶四海的语速越来越快，声音也变得越来越急促！

“我设想出了一种基于EUV光源和MEP+SAQP方法的3nm光刻机技术方案，首先采用基于激光产生等离子体（LPP）的EUV光源，其功率达到250W，可满足每小时曝光2000片硅片的需求。”

“同时，采用闭环反馈控制系统，实时监测和调节光源参数，保证其稳定性和均匀性。

。

。”

“咕嘟！”

他吞咽了一口唾沫，愣愣地说道：

“一样！”

“真的一样！

跟我当年看到的那份技术图纸，一模一样！

就是它！”

这些数据，这些详细到了每一个工业零件的技术图纸，叶四海魂牵梦绕了无数年，只需要第一眼，他便瞬间认了出来！

就是它！

是它，让龙国的半导体行业坐上了火箭，在这些年来以恐怖的速度高速发展着！

是它，让龙国的芯片业、高端工业不用再受到其他国家的卡脖子威胁，而是能尽情地发挥着自己的长处、优势！

看到了叶四海的激动反应，吴将军也是身躯一震。

“叶所长，这份文件跟当年您看到的那一份，一样吗？”

吴将军迅速问道。

“一样！

几乎一模一样！”

叶四海一边飞速地浏览着剩下的内容，一边激动地回答道！

“几乎？”

吴将军却是微微一愣。

对于叶四海这样的高端科学家来说，用词、用量，几乎都是一个很精确的值，这个几乎的意思是。